mems芯片是什么

mems芯片是什么?mems芯片是将微电子技术与机械工程融合到一起的一种工业技术，它的操作范围在微米范围内，比它更小的，在纳米范围类似的技术被称为纳机电系统。MEMS最初大量用于汽车安全气囊，而后以M