mems芯片是什么?mems芯片是将微电子技术与机械工程融合到一起的一种工业技术,它的操作范围在微米范围内,比它更小的,在纳米范围类似的技术被称为纳机电系统。MEMS最初大量用于汽车安全气囊,而后以M
mems即微机电系统(英语:MicroelectromechanicalSystems,缩写为MEMS)是将微电子技术与机械工程融合到一起的一种工业技术,它的操作范围在微米范围内。比它更小的,在纳米