icrd和华虹集团的关系

icrd是华虹集团旗下的，icrd是指上海集成电路研发中心，其采用北方华创NMC612D电感耦合等离子体刻蚀机等国产设备，完成了14nm鳍式晶体管自对准双重图形相关工艺的自主开发，各项工艺指标均已达到